Modelo

K1000A

K1000B

K1000C

Especificações de fluxo (fluxo de conversão N2)

Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM

Bin 2: 30 SCCM ~ 100SCCM

Bin 6: 3SLM ~10SLM

60SLM 、100SLM、

200SLM、300SLM、

Bin 3: 100SCCM~300SCCM

Bin 7: 10SLM~ 30SLM

Bin 8: 30 SLM ~50SLM

150SLM、200SLM

400SLM、500SLM

600SLM, 1000SLM (N2, H2, ar, etc.)

Bin 4: 300 SCCM ~1SLM

Bin 5: 1SLM ~3SLM

Tipo de válvula

N/O: Normalmente aberto, N/C: Normalmente fechado

N/C: Normalmente fechado

Alcance de controle de fluxo

2%～100%F.S.

Precisão

100%～25%：±1.0% of S.P.，
25%～2%：±0.25%F.S.
(Precisão garantida de 15 a 35°C)

± 1% F.S. (gama de garantia de precisão 15 ~ 35 ℃)

± 2% F.S. (gama de garantia de precisão 15 ~ 35 ℃)

Temperatura ambiente de trabalho

5～50℃

5～45℃

Tempo de resposta

≦1sec

≦3sec

linear

±0.5%F.S.

Precisão de repetição

±0.2%F.S.

Intervalo de pressão de trabalho

N/O100 ~ 300KPa (3SLM ~ 10SLM)

50-300KPa

N/O150 ~ 300KPa (11SLM ~ 30SLM)

200～300KPa

(Ar: 100-300KPa)

N/C100 ~ 300KPa (3SLM ~ 30SLM)

（Ar: 250～450KPa）

100-300KPa

150-300KPa

300～450kPa (H2：150～300kPa)

（Ar 200～3500KPa）

Coeficiente de temperatura

Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃

Máxima pressão de trabalho

400KPa（Ar:500KPa）

700KPa

Resistência à pressão

1MPa

Taxa de vazamento

vedação metálica: 1 x 10^－11Pa・m³/sec He (1×10^－10atm・cc/sec He)

Selo de anel de borracha: 1 x 10^-7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

Selo de anel de borracha: 1 x 10^－7Pa・m³/sec He (1×10^－6atm・cc/sec He)

Materiais de vedação

vedação metálica; Borracha fluorada; Neopreno

Borracha fluorada; Neopreno

Forma de comunicação

Analógico: 0-5V DC Digital: RS485, DeviceNet, EtherCAT

Analógico: 0-5V DC Digital: RS485, DeviceNet,

Alimentação

Analógico / Digital: +15VDC 50mA, -15VDC 200mA; DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W)

Forma de junção padrão

VCR 1/4 sol, 2 cartões 1/4 sol, 1,5'' W-Seal, 1,125'' W-Seal, 1,125'' C-Seal

VCR 3/8 conector solar, caixa de cartão duplo 3/8 conector solar

Conector VCR 1/2 sol, Conector duplo 1/2 sol

Peso

1.0kg

3.0kg

3.7kg