CS100 Controlador de fluxo de massa e medidor de fluxoFornitore globale

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CS100 Controlador de fluxo de massa e medidor de fluxo

Os produtos CS100 são baseados na plataforma tecnológica de produtos da série CS de medidores de fluxo de sete estrelas, com tecnologia de sensor de p

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Detalhes do produto

Vantagens

• Os produtos CS100 são projetados sob medida pelo cliente,
• Os clientes podem escolher ±15V de alimentação dupla ou +24 de alimentação única, conforme necessário;
• vedação metálica ou vedação de borracha;
• Os tamanhos dos produtos podem ser selecionados em conformidade com os padrões SEMI internacionais ou em tipos de aperto.

Parâmetros técnicos

CS100

Modelo

CS100A

CS100D

Tipo de válvula

Fechado frequentemente

Nenhum

Fechado frequentemente

Nenhum

Especificações de fluxo (N2)

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM

Precisão

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

linear

±0.5% F.S.

Precisão de repetição

±0.2% F.S.

Tempo de resposta

≤ 1sec

Intervalo de pressão de trabalho

0.05～0.35MPa； Especificações de fluxo ≤10SLM
0.1～0.35MPa ； 10 <Especificações de fluxo≤30SLM
0.25～0.45MPa ； 30 <Especificações de fluxo≤50SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa； Especificações de fluxo ≤10SLM
0.1～0.35MPa； 10 <Especificações de fluxo≤30SLM

＜0.02 MPa

Coeficiente de temperatura

Ponto zero: ≤ ± 0,05% FS / ℃; Tempo de regulação: ≤±0.1% F.S/℃

Resistência à pressão

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

Taxa de vazamento

1×10^-9Pa·m³/ sec He（1×10^-8atm·cc / sec He）

Materiais de vedação

Borracha fluorada

vedação metálica

Máxima pressão de trabalho

0.45MPa

Temperatura ambiente de trabalho

（5～45）℃

Sinal de entrada

Simulação:
(0～5)VDC

Número: RS485

Nenhum

Simulação:
(0～5)VDC

Número: RS485

Nenhum

Sinal de saída

Simulação:
(0～5)VDC

Número: RS485

Simulação: (0-5) VDC

Número: RS485

Simulação:
(0～5)VDC

Número: RS485

Simulação:
(0～5)VDC

Número: RS485

Forma de conexão de alimentação

Tipo D 9 pinos
Conexão solar;

Tipo D 15 pinos
Junção solar

Tipo D 9 pinos
Conexão solar;

Tipo O 3 pinos
Junção solar

Tipo D 15 pinos
Junção solar

Tipo D 9 pinos
Conexão solar;

Tipo D 15 pinos
Junção solar

Conexão D de 9 pinos;

Tipo O 3 pinos

Tipo D 15 pinos

Tipo D 9 pinos
Conexão solar;

Tipo D 15 pinos
Junção solar

Tipo D 9 pinos
Conexão solar;

Tipo O 3 pinos
Junção solar

Tipo D 15 pinos
Junção solar

Tipo D 9 pinos
Conexão solar;

Tipo D 15 pinos
Junção solar

Conexão D de 9 pinos;

Tipo O 3 pinos

Tipo D 15 pinos

Alimentação

±15V

+24V

±15V

+24V

±15V

+24V

±15V

+24V

Limpar automaticamente

Apoio

Rugosidade da superfície

25μinch Ra

Forma de junção padrão

Cartão duplo φ6; Cartão duplo φ3; Conjunto duplo de cartões 1/4´´; Conjunto duplo de cartões 1/8’’;

Conexão VCR1/4´´sol;

φ6 (dentro) x1 junção de mangueira; φ5 (dentro) x1.5 junção de mangueira; φ4 (interior) x1 junção de mangueira

Conector VCR1/4″

Peso

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg

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